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Czochralski-Verfahren

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Czochralski-Verfahren

CBOT

Verfahren zur Herstellung von Silizium-Einkristallen, bei dem ein Kristall aus der Siliziumschmelze gezogen wird. Unter Zieh- und Drehbewegungen scheidet sich an einem Kristallisationskeim ein zylindrischer Silizium-Einkristall ab. Für die Schmelze werden bereits hochreine polykristalline Siliziumstücke verwendet, denen je nach gewünschter —>Dotierung des —>Einkristalls hochdotiertes Silizium zugegeben wird.

- 12052/2004-07-11

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Alternative Schreibweisen (Synonyme): Czochralski-verfahrens

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Czochralski-Verfahren